1.技术指标 进口：ISO250F 排气：KF40 抽速：2,650 l / s（N2） 压缩比：> 10 ^ 8（N2） 极限压力：1 x 10-9托 重量：176磅 2.特点与优势 •紧凑的设计，包括完全集成的控制器 •创新的自感应磁性轴承系统 •5轴数字控制 •与其他涡轮相比，振动水平降低了50％ •可以配置为运行腐蚀性工艺 应用领域 等离子蚀刻•ECR蚀刻•薄膜沉积•溅射•离子注入 厦门志德真空泵维修配有成套完好的真空设备检测,维修以及测试的仪器和工具拥有专业的真空泵维修团队专业维修真空泵 技术精良,服务好! 1、维修各种真空泵，专业解决真空泵各种疑难故障，超过十年的维修经验是我们为您提供优质服务的保障；2、丰富的技术资源储备，志德公司拥有各种国际知名品牌真空泵生产厂商的维修数据和操作标准，我们更懂您的设备；3、免费检测，甚至在合理的距离范围里，志德公司为您运送故障机台至志德维修工厂都是免费的，在客户确认维修订单之前的每个步骤，志德公司为您做的，皆为免费服务，包括运输费用；4、免费备用机，维修皆因紧急状况，志德公司急您之所急，常用规格型号志德公司都能够提供备用机，同时，提高我们的维修效率，尽我们所能让您的设备尽快恢复正常工作；5、收取合理的维修费，我们收费基于的服务和优质的零配件，志德是品质的倡导者，我们的服务伴随您设备使用周期的每个阶段；6、保固期优于行业标准，期限为6个月，志德公司一如既往的长久为您考虑；