浙江珂勒曦动力设备有限公司
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螺杆泵工业真空泵真空镀膜应用中的几种方法
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产品介绍
首先是真空蒸镀。其原理是在真空条件下,用蒸发器加热带蒸发物质,使其气化或升华,蒸发离子流直接射向基片,并在基片上沉积析出固态薄膜的技术。 其次是溅射镀膜。溅射镀膜是真空条件下,在阴极接上2000V高压电,激发辉光放电,带正电的氩离子撞击阴极,使其射出原子,溅射出的原子通过惰性气氛沉积到基片上形成膜层。 第三,离子镀膜,即干式螺杆真空泵厂家已经介绍过的真空离子镀膜。它是在上面两种真空镀膜技术基础上发展而来的,因此兼有两者的工艺特点。在真空条件下,利用气体放电使工作气体或被蒸发物质(膜材)部分离化,并在离子轰击下,将蒸发物或其反应物沉积在基片表面。在膜的形成过程中,基片始终受到高能粒子的轰击,十分清洁。 第四,真空卷绕镀膜。真空卷绕镀膜是一种利用物理qi相沉积的方法在柔性基体上连续镀膜的技术,以实现柔性基体的一些功能性、装饰性属性。 上述四种都属于物理qi相沉积技术应用(PVD)。 接下来是化学气相沉积(CVD)。它是以化学反应的方式制作薄膜,原理是一定温度下,将含有制膜材料的反应气体通到基片上并被吸附,在基片上产生化学反应形成核,随后反应生成物脱离基片表面不断扩散形成薄膜。 束流沉积镀,结合了离子注入与气相沉积镀膜技术的离子表面复合处理技术,是一种利用离化的粒子作为蒸镀材料,在比较低的基片温度下,形成具有良好特性薄膜的技术。 珂勒曦螺杆真空泵,单极突破0.1pa极限真空泵,可长时间运行,并且针对国内高温差、高湿度、高粉尘环境做了针对性优化,更适应国内的各类工况环境,实际应用实现更低故障率,更低能耗,更高能效。广泛应用于电子光伏、包装行业、真空模拟、风洞实验和造纸与印刷等各种生产行业。
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