光学3D表面轮廓仪是一款用于对精密器件表面进行亚纳米级测量的检测仪器。它是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌的3D测量的光学检测仪器。 光学3D表面轮廓仪广泛应用于半导体工艺检测、超精密加工、纳米材料、光学加工、集成电路工艺检测、汽车零部件、机器人、MEMS器件检测、薄膜检测、航空航天、国防军工、科研院所等行业及领域中。可测各类从光滑到粗糙的物体表面，从纳米到微米级别工件的轮廓、线粗糙度、面粗糙度，提供依据ISO/ASME/GBT国内外标准近百余种2D、3D参数作为评价标准。 行业应用及特点： 对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺点、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。