产品介绍
VIEW Benchmark 624 是 QVI旗下一款大容量式全自动三轴尺寸测量系统.®
VIEW Benchmark 624 的移动桥式结构和光学可使被测组件始终保持静止状态
X,Y,Z行程 (mm):624 x 624 x 150,0.5 μm 选项:624 x 624 x 200
X,Y,Z 光栅尺分辨率:0.5 μm,选项: 0.1μm
工作台驱动系统:直流伺服马达XYZ,单一Y轴驱动和Y轴光栅尺
双Y-轴驱动及Y轴光栅尺
Zui da速度:X,Y - 200mm/秒; Z - 100 mm/秒
Zui da承载量:50 kg 均匀分布在玻璃平台上
100 kg l均匀分布在坐标轴上
光学系统:双重放大视场可交换式前置镜头,VIEW2.5X标配镜头
单一倍率,工作安装背光和视场交换式前镜产学研,标配为VIEW 1X变焦管
和2.5X镜头