真空泵油是一种特地为真空装置上的真空泵而研发制成的光滑油，真空泵油分为矿物油和合成油两种。真空泵油具有氧化稳定性：长期处在高温条件下，并且与空气、树脂、化学原料等物质直接接触亦不容易发生变质，减少产生有害漆膜和油垢，提供较长的换油周期时间；具有防锈防腐蚀性：能在金属外表构成十分有效的防腐膜，从而能够完全避免因吸入腐蚀性气体和水分而导致的系统腐蚀。