深圳深钢投资有限公司
主营产品:标准气体,特种气体,高纯气体,混合气体,电子气体
您当前的位置: 首页 > 产品展示 >> 四氟化碳
四氟化碳
  • 联系人:李先生
  • QQ号码:2275883438
  • 电话号码:0755-28260986
  • 手机号码:18126199975
  • Email地址:lipeng@szjingugs.com
  • 公司地址:广东省深圳市宝安区石岩街道石新社区宏发佳特利高新园办公楼四楼 406C
产品介绍
四氟化碳,又称为四氟甲烷、Freon-14及R 14,是一种卤代烃(化学式:CF4)。它既可以被视为一种卤代烃、卤代甲烷、全氟化碳,也可以被视为一种无机化合物。零下198 °C时,四氟化碳具有单斜的结构,晶格常数为a = 8.597, b= 4.433, c = 8.381 (.10-1 nm), β = 118.73° 。.用于各种集成电路的等离子刻蚀工艺,也用作激光气体,用于低温制冷剂、溶剂、润滑剂、绝缘材料、红外检波管的冷却剂。2.是微电子工业中用量大的等离子蚀刻气体,四氟甲烷高纯气及四氟甲烷高纯气、高纯氧的混合气,可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻,在电子器件表面清洗、太阳能电池生产、激光技术、低温制冷、泄漏检验、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。3.用作低温制冷剂及集成电路的等离子干法蚀刻技术 [1]  。
相关推荐
查看更多产品