实验型真空等离子设备比较小巧、处理效果也比较理想，真空度是保障效果的一大因素,看看实验型等离子设备的真空泵控制方式。 大部分真空等离子清洗机腔体抽空所使用的真空泵有干泵和油泵两种,有的使用单个泵,也有使用泵组的。小型实验型的真空等 子清洗机使用单个泵，它的操作面板主要由按钮，状态指示灯,带指示灯的蜂鸣器，功率调节器,数显式真空计，定时器，旋 钮开关，浮子流星计等部件组成，其空泵的启停控制是由带自锁的点动按钮去直接控制交流接触器，交流接触器触点的通断控 制真空泵三相电的通断，这种控制比较直观简单,在手动操作的这种小型的等离子清洗机上面这种控制方式完全可以满足控制要 求，但如果要用这种方式实现自动控制，不但难度比较大,控制的精度和安全性都很难达到要求。