产品介绍
全自动扩散炉采用电脑工控机软件控制方式,该设备用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金和烧结等工艺。设备主要适合于3-6英寸工艺硅片的处理,具有多条工艺曲线,调用方便快捷;运行中,具有停电记忆功能触摸微机界面,操作方便;具有超温保护功能。
二.设备主要特点和优势
1★具有强大的软件功能,友好的人机界面,用户可以方便地修改工艺控制参数,并可随时显示各种工艺状态;配有故障自诊断软件,可大大节省维修时间;
2★采用可靠性工控机+PLC模式,对炉温、进退舟、气体流量、阀门进行全自动控制,实现全部工艺过程自动化;
3★程序可以实现手/自动工作,在停电或中途停机后,再次启动可以根据工艺手动升温,节省工艺时间;
4★具有多种工艺管路,可供用户方便选择;
5★冷端采用PT100检测环境温度进行温度补偿,避免环境温度变化,对炉膛温度产生影响,避免层间干扰;
6★推拉舟控制采用高速脉冲闭环控制,避免马达丢步,运行颤抖现象。推拉舟运行完一个周期,自动校准位置,有效防止定位偏差;
7★气体流量控制,采用模拟信号闭环控制,强弱电分开,各种数据交互采用标准总线,提高抗干扰能力,保证数据安全;气体打开具有缓启动功能;
8★具有多种报警功能及安全保护功能;
9★恒温区自动调整,串级控制,可准确控制反应管的实际工艺温度;