深圳市衡鹏瑞和科技有限公司
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真空水平多关节型5轴洁净机械手臂
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产品介绍
真空水平多关节型5轴洁净机械手臂 真空水平多关节型5轴洁净机械手臂特点:  5轴真空水平多关节型洁净机械手臂GTVCR5000系列 实现了下降价格,但是也可以维持以前的GTVHR5000系统的机能,功能 能够在真空环境下对应并排摆放的腔室工作台布局,能够灵活地适应不同类型设备的多种布局 通过优化机械手臂的空间尺寸,有利于减小真空腔室的内部容积 非常适合inline设备 机械手臂标准臂长:280mm, 330mm 手臂关节处使用磁流体密封装置 真空密封:磁流体密封装置以及波纹管 提高洁净度的方法:手臂内部排气口安装5μm级过滤器 双手指机构能够缩短更换晶圆时的手臂动作时间 配备动作监视器 控制通讯方式:RS232C及并口I/O方式 全轴采用 值编码器规格的AC伺服电机 S曲线加减速控制方式能够高速,高精度地搬运半导体晶圆 手指材质:CFRP(碳纤维),铝合金,高纯度陶瓷等多种可选材质 晶圆固定方式:下托式,利用晶圆自重的边缘夹持式,利用O型胶圈的摩擦力来保持位置 真空水平多关节型5轴洁净机械手臂基本参数: 使用环境                    洁净间内的大气:温度 15°C-40°C 工艺室温度                 450°C 手臂                          单臂 到达距离                    635mm (手臂第3关节中心基准) 升降轴行程          60mm 可搬运质量                4kg (手臂第3关节处基准) 如需详细产品参数 请联系我们衡鹏 http://www.hapoin.com/wafer_transfer_robot/gtvcr5330.htm 真空水平多关节型5轴洁净机械手臂相关产品: 衡鹏供应 3轴圆柱坐标洁净机械手臂/4轴圆柱坐标洁净机械手臂
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