深圳市衡鹏瑞和科技有限公司
主营产品:电子元器件,半导体
3轴机械臂_全轴采用AC伺服电机满足高速搬送
  • 联系人:刘庆
  • QQ号码:
  • 电话号码:0755-22232285
  • 手机号码:13923818033
  • Email地址:sales@hapoin.com
  • 公司地址:广东省深圳市南山区艺园路133号田厦1C产业园3018
产品介绍
3轴机械臂_全轴采用AC伺服电机满足高速搬送 采用AC伺服电机的3轴机械臂特点:  超洁净无尘间用300mm晶圆对应MCR3000C系列 适用于半导体生产设备内部,检测设备等的晶圆搬运 全轴采用AC伺服电机满足高速搬送的需求 比MHR系列具有更好的性价比优势 机械手臂标准臂长:160mm, 200mm 适应设备需求可以选择底座固定方式,或者法兰固定方式 配备动作监视器 控制通讯方式:RS232C及并口I/O方式 全轴采用 值编码器规格的AC伺服电机 S曲线加减速控制方式能够高速,高精度地搬运半导体晶圆 晶圆固定方式:真空吸附式,下托式,边缘夹持式,伯努利非接触式 手指材质:CFRP(碳纤维),铝合金,高纯度陶瓷等多种可选材质 可以针对被搬运物体种类,设备布局等要求提供手指 了解更多:http://www.hapoin.com/wafer_transfer_robot/ 3轴机械臂_全轴采用AC伺服电机的相关产品: 衡鹏供应 4轴圆柱坐标洁净机械手臂/5轴真空水平多关节型洁净机械手臂
相关推荐
查看更多产品