参数： 主机规格：300mm×360mm×380mm（W×D×H） 靶（上部电极）：50mm×0.1mm（D×H） 靶材：Au（标配）也可根据实际情况配备银靶、铂靶等。 样品室：硼硅酸盐玻璃160mm×120mm（D×H） 样品台尺寸：可安装直径50mm和直径70mm的样品台，也可根据自身要求定样品台 靶材尺寸：Ф50mm 真空指示表：真空度：≤ 4X10-2 mbar 离子电流表：电流：50mA 定时器：时间：0-360S 微型真空气阀：可连接φ3mm软管 可通入气体：多种 电压：-1600 DCV 机械泵：标准配置2L/S（国产VRD-8） 输入电压：220V(可做110V),50HZ