型号：SD-650MH 仪器多机尺寸：长610mmX竟420mmX言220mm(注：含腔体总高490mm) 工作腔室尺寸：：金篇腔体：直径260mmX高270mm(外尺寸） 直径210mmX高270mm(内尺寸) 靶材尺寸：室径50mmX罩3mm(图契材材质不司星度有所不司） 靶材料：标配一杂直径50mmX03mm的金起（可渡射弱磁性金属膜） 靶枪冷却方式：水冷 真空系统：抗冲击涡轮分子泵，抽速为300L/s 前级机械泵：抽速为4L,带防返油电磷阀及油污拉滤器 真空测量：采用复合真空计些测真空 极限真空度：5×10Pa(10分钟可到5×10Pa) 电源：官流恒流电源： 翰入克压：220W 输出电压：0-600r可话 输出电流（沉积电流）：0-1.6A可调 教样台：旋装台（直径尺寸用户可选，不能超过中150mm) 工作气体：Ar笺管性气体（警自备气瓶及减压阀） 气路：谁射喜空度手动道整 沉积速宝：0-200nm 水冷：自循环冷却水机 电源电压：220V50Hz 启动功室：3KW 保修：贰年 仪器多机尺寸：长610mmX竟420mmX言220mm(注：含腔体总高490mm) 工作腔室尺寸：：金篇腔体：直径260mmX高270mm(外尺寸） 直径210mmX高270mm(内尺寸) 靶材尺寸：室径50mmX罩3mm(图契材材质不司星度有所不司） 靶材料：标配一杂直径50mmX03mm的金起（可渡射弱磁性金属膜） 靶枪冷却方式：水冷 真空系统：抗冲击涡轮分子泵，抽速为300L/s 前级机械泵：抽速为4L,带防返油电磷阀及油污拉滤器 真空测量：采用复合真空计些测真空 极限真空度：5×10Pa(10分钟可到5×10Pa) 电源：官流恒流电源： 翰入克压：220W 输出电压：0-600r可话 输出电流（沉积电流）：0-1.6A可调 教样台：旋装台（直径尺寸用户可选，不能超过中150mm) 工作气体：Ar笺管性气体（警自备气瓶及减压阀） 气路：谁射喜空度手动道整 沉积速宝：0-200nm 水冷：自循环冷却水机 电源电压：220V50Hz 启动功室：3KW 保修：贰年