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VTC-16-3HD小型离子溅射仪喷金仪
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产品介绍
产品名称 VTC-16-3HD3靶等离子溅射仪 产品型号 VTC-16-3HD 安装条件 本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用. 1、水:不需要 2、电:AC220V50Hz,要有良好接地 3、气:设备腔室内需充注气气(纯度99.99%以上),需自备氛气气瓶(带压减阀) 4.工作台:尺寸600mm×600mm×700mm,,承重50ka以上 5、通风装置:不需要 主要参数 1、输入功率:110V/220V通用2000W(含真空泵) 2、输出功率:1600VDC50mA( 电流) 3、石英置:0160mm×120mm 4、样品台:050mm(可选购加热型样品台, 温度可到500℃:溅射时间不可超过5min) 5、真空泵:120L/M旋片式真空泵 7、靶材:尺寸直径047mm,厚度0.1mm-3mm;可溅射Au、Ag、Pt、Cr、Ni 产品规格 尺寸:360mm×350mm×3600mm; 重量:50kg 可选配件 1、KF25真空接口、卡箍 2、不锈钢波纹管(600mm) 3、旋片式真空泵(120L/M) 4、铂、银、锌等各种高纯度金属靶材 5、加热型样品台
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