GSL-1100X-SPC-16单靶等离子溅谢仪 GSL-1100X-SPC-16 本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水：不需要 2、电：AC220V50Hz,有良好接地 3、气：设备腔室内需充注氢气（纯度99.99%以上），需自备氩气气瓶（带减压阀） 4、工作台：尺寸600mm×600mm×700mm,,承重50kg以上 5、通风装置：不需要 1、电源：220V 2、总功率：<2000W(包括镇空泵) 3、真空室：0160mm×120mm 4、样品台：O50mm,且高度可调，可同时进行8个SEM样品的镀膜 5、max均匀镀膜：045mm 尺寸：400mmx300mm×400mm 重量：30KG 1、金靶材1个 2、进气针阀1个 3、保险丝2个 金、铟、银、铂等各种靶材