参数： 主机规格：260mm×307mm×260mm（W×D×H） 电源规格：220V(可做110V),50HZ 靶（上部电极）：50mm×0.1mm（D×H） 靶材：Au（标配），也可根据实际情况配备银靶、铂靶等。 真空样品室：硼硅酸盐玻璃115mm×100mm（D×H） 定时器：时间：3600S 机械泵：1L/S 电压：-1200 D