广州利勃机电股份有限公司
主营产品:防爆冰箱,防爆空调
ETD-2000C 小型离子溅射仪喷金仪
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产品介绍
参数: 仪器尺寸:305mm×400mm×390mm(W×D×H) 真空样品室:硼硅酸盐玻璃160mm×110mm(D×H) 靶(上部电极):50mm×0.1mm(D×H) 溅射靶材:Au(标配),也可根据实际情况配备银靶、铂靶等。 溅射靶材大小:φ50mm 样品台:样品台尺寸可安装直径50mm和直径70mm的样品台,也可根据自身要求定制样品台 溅射工作电压:0-1600V (DC)可调 溅射电流:0-50mA 溅射定时:0-360S 蒸碳电流0-100A(AC) 蒸发材料:碳纤维 蒸发工作电压:0-30V 蒸发时间:0-1S 微型真空气阀:可连接φ3mm软管 可通入气体:多种 输入电压:220V(可做110V),50HZ 真空泵:2升机械旋转泵(国产VRD-8) 
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