伯东企业(上海)有限公司
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HVA 矩形阀 88200 系列
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产品介绍
因产品配置不同,价格货期需要电议,图片仅供参考,以实际成交合同为准。 HVA 矩形阀 88200 系列 上海伯东美国 HVA 矩形阀门 88200系列矩形板阀是采用了直连驱动技术的接口阀,可靠使用寿命超过1百万次。HVA 闸板阀专用于真空相关系统,起隔绝真空压力的作用。HVA真空闸板阀外形尺寸小,设计紧凑,可靠应用于生产线与过渡腔室(load-lock chamber),过渡腔室(load-lock chamber)与传输系统(handling system),传输系统(handling system)与工艺腔室(process chamber)等等,需要分隔真空压力的地方。   HVA 88200 系列矩形真空板阀产品特点 1. 超百万次可靠运行寿命 2. 不产生粉末,颗粒,防尘设计 3. 阀动作平稳,振动和冲击小 4. 标准接口,或按客户要求定制 5. 阀体材料经过1E-6Torr,1100℃真空铜焊处理 6. 适用于1E-9Torr,200℃条件下 HVA 88200 系列矩形真空板阀技术参数 连接形式: 标准或定制法兰 主体材料: 铝 公称通径: DN32*222 mm-DN50*336 DN32*222 mm-DN100*1250 漏率: 2x10E-9 AtmCC/Sec 压力范围:  1x10E-9 Torr 烘烤温度: 《150℃ 适用介质: 水、蒸汽、空气 密封形式: 软密封型 驱动方式: 气动 使用寿命: 1000000 启闭次数     HVA 28200&88200 系列矩形真空板阀部件图 请联络上海伯东邓女士,分机134
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