高纯气体对于不同类别的气体，纯度指标不同，例如对于氮，氢，氩，氦而言，通常指纯度等于或高于99.999%的为高纯气体；而对于氧气，纯度为99.99%即可称高纯氧；对于碳氢化合物，纯度为99.99%的即可认为是高纯气体。高纯气体应用领域极宽，在半导体工业，高纯氮、氢、氩、氦可作为运载气和保护气；高纯气体可作为配制混合气的底气。高纯气体根据分子结构的不同可以分为有机高纯气体，和无机高纯气体 氩气是工业上应用很广的稀有气体。它的性质十分不活泼，既不能燃烧，也不助燃。在飞机制造、造船、原子能工业和机械工业部门，对特殊金属，例如铝、镁、铜及其合金和不锈钢在焊接时，往往用氩作为焊接保护气，防止焊接件被空气氧化或氮化。 氮气，化学式为N₂，为无色没味气体。氮气化学性质很不活泼，在高温高压及催化剂条件下才能和氢气反应生成氨气； 氧气是无色没味气体，是氧元素常见的单质形态。熔点-218.4℃，沸点-183℃。不易溶于水，1L水中溶解约30mL氧气。在空气中氧气约占21% 。液氧为天蓝色。固氧为蓝色晶体。 二氧化碳一种碳氧化合物，化学式为CO2，化学式量为44.0095 ，常温常压下是一种无色没味或无色无臭而其水溶液略有酸味的气体，也是一种常见的温室气体 ，还是空气的组分之一（占大气总体积的0.03%-0.04% ）。 乙炔在室温下是一种无色、极易燃的气体。 丙烷是一种有机化合物，化学式为CH3CH2CH3，为无色没味气体，微溶于水，溶于乙醇，化学性质稳定，不易发生化学反应，常用作冷冻剂、内燃机燃料或有机合成原料。 氢气，化学式为H₂，分子量为2.01588，常温常压下，是一种极易燃烧的气体。无色透明、无臭没味且难溶于水的气体。