程控扩散炉
所在地:山东省青岛市
联系人:臧允超
价格:面议
品牌:青岛育豪
发布时间:2022-04-02
【产品详情】程控扩散炉
查看该公司全部产品>>一.设备概述: 程控扩散炉采用仪表程序升温控方式操作,该设备用于半导体等行业的3-4英寸工艺硅片扩散、氧化、退火、合金等工艺。 二.设备类型: 方式: 手动操作方式,小工作台面 可配工艺管数量: 1-4管系统 净化台洁净度: 1000级(10000级厂房) 气体流量控制: 均用进口浮子流量计控制 送取片方式: 手动推拉 使用类型: 3-4寸炉管 三.设备主要参数: 工作温度: 300~1290℃ 炉管有效口径: ¢150-190mm 总功率: 15-24KVA/管 保温功率:6-10KVA/管 三相五线制: 380V±10%,50Hz±10%,次级线不小于35平方高温线 报警: 具有超温报警,断偶报警,气体互锁等功能 恒温区长度及段数: 400-1100mm(3-5段控温) 控温精度: ±0.5℃(≧1000℃) 单点温度稳定性: ±1℃/72h 控温方式: 高精度仪表程序控制 热偶类型: 热电偶采用K/S/R型,每管Spike 4-6支热偶 可控升温范围: (500~1285℃)0--15℃/min 可控降温范围: (500~1285℃)0--10℃/min 设备总外形尺寸: 根据设备配置不同,尺寸有所不同 四.主要构成: 1、 设备主机 2、 加热系统 3、 排风冷却系统 4、 排箱(和设备主机做为一体) 5、 控制系统 设备主要特点和优势 1★程序可以实现手/自动工作,在停电或中途停机后,再次启动可以根据工艺手动升温,节省工艺时间; 2★冷端采用PT100检测环境温度进行温度补偿,避免环境温度变化,对炉膛温度产生影响,避免层间干扰; 3★气体流量控制采用浮子流量计控制; 4★具有多种报警功能及安全保护功能; 5★恒温区手动调整,可准确控制反应管的实际工艺温度;
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