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立式真空扩散炉

供应商:青岛育豪微电子设备有限公司【公司商铺】

所在地:山东省青岛市

联系人:臧允超

价格:面议

品牌:青岛育豪

发布时间:2022-04-02

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【产品详情】立式真空扩散炉

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立式真空扩散炉 本设备主要应用于集成电路、分立器件、电力电子、光电子等行业硅片的扩散、烧结、以及热处理退火等在真空状态下的工艺操作。  立式、环壁加热、钟罩升降式、丝杠自动上下升降送料,真空室内配有工件支架  功能特点:  ★全英文windows操作界面,可编辑参数,操作方便。   ★可保存多条工艺曲线,每条曲线可设置多步。   ★工艺曲线的自动运行控制功能。   ★自动运行中可暂停/继续运行功能。   ★工艺中可强制跳到下一个工艺步运行功能。    ★智能升降温斜率制功能。   ★PID参数自整定功能。    ★系统故障的检测与报警功能。   ★停电后断点继续运行功能。   ★工艺气体的程序控制功能(电磁阀/质量流量控制器)   ★实时监测真空度数据   ★可根据用户的特殊要求增减或开发相应的功能。    三.设备参数类型: 方式: 立式  可配工艺管数量: 1管系统 净化台洁净度: 100级(10000级厂房)  气体流量控制:  均用MFC控制  送取片方式:  上下自动升降,采用Sic浆推拉舟  使用类型:  4-12寸炉管  工作温度:  600~1290℃  炉管有效口径: ¢180-500mm 总功率:  18-55KVA/管   保温功率:8-25KVA/管  三相五线制:  380V±10%,50Hz±10%,次级线不小于35平方高温线  报警: 具有超温报警,断偶报警,气体互锁,气体缓启动等功能  恒温区长度及段数:  400-800mm(3-5段控温)  控温精度:  ±0.5℃(≧1000℃)  单点温度稳定性:  ±1℃/12h 控温方式: 工控机 + PLC控制 + 触摸屏  热偶类型: 热电偶采用S/R型,每管Spike 4-10支热偶  可控升温范围:  (500~1300℃)0--15℃/min 可控降温范围:  (1300~500℃)0--10℃/min 工艺气体:  N2/H2/Ar/O2(可根据工艺要求选配)  真空机组: 采用直连机械泵+罗茨泵(可根据工艺要求选配)  冷却水: 压力0.2—0.4MPa 设备总外形尺寸:  根据设备配置不同,尺寸有所不同 

温馨提示: 以上是关于立式真空扩散炉的详细介绍, 产品由青岛育豪微电子设备有限公司为您提供,如果您对青岛育豪微电子设备有限公司产品信息感兴趣可以联系供应商 或者让供应商 青岛育豪微电子设备有限公司 主动联系您,您也可以查看更多与 相关的产品!

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