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六甲基二硅氮烷 简  称 HMDS 别  名 六甲基二硅胺烷 | 双（三甲基硅）胺烷 外文名 HEXAMETHYLDISILAZANE 分子式 (CH3)3SiNHSi(CH3)3 分子量 161.39 CAS号 999-97-3 EINECS 213-668-5 密  度 0.770—0.780  折光率 1.408±0.002 闪  点 27℃ 沸  点 126℃  色  度 ≤10 性　状 无色透明液体、略带胺味 溶解性 溶于有机溶剂 用　途： 1.特种有机合成。硅藻土、白炭黑、钛等粉末的表面处理。半导体工业中光致刻蚀剂的粘结助剂。 2.为阿米卡星中间体，是羟基及氨基保护剂 3.用于生产橡胶、药物。该品是消减气相色谱载体表面吸附活的减尾剂。 4.碱性硅烷化保护剂，无机填料处理剂