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可以独立确定X射线束的长度和宽度。被辐照样品区域的长度（沿内核方向）可以在10到0.1mm之间变化。 来自带有Rh阳极的X射线管的直接辐射用于激发样品中的元素（从Mg到U）。当入射的X射线束穿透样品时，会发生元素的初级荧光。但是，元素间效应（二次荧光）会在被照射的样品体积之外生成X射线荧光，因此可以检测到超出被照射样品区域的X射线。这会导致分辨率降低。然而，带有狭缝选项的Avatech光学系统阻止了这种效果。为了能很好地探测到光元素，整个光学系统都经过He散射处理。在测量过程中，装置与沉积物接触。沉积物上覆盖着一层对X射线高度透明的薄箔，以防止仪器被弄脏和样本在长时间的测量过程中干燥