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激光器特点 l  长期工作稳定性高 l  RS232控制，外部GATE，TRIGGER控制 l  支持PWM功率控制 l  LD模块可现场更换 l  TEM00基模输出（M2<1.3） l  体积小，结构紧凑 l  重复频率30kHz-100kHz可调 应用范围 l  薄膜蚀刻 l  材料微加工 l  微孔加工 l  晶圆切割 l  科学研究等 l  激光标记 技术参数 型号 LASER355-3W 波长 355nm 功率 3W@30KHz 单脉冲能量 100μJ@30kHz 频率 30~100kHz 脉宽 <20ns@30KHz 光斑模式 TEM00 (M2<1.3) 光束直径 0.5±0.1mm 功率稳定性 <3% RMS over 8 hours 脉冲稳定性 <3% RMS over 10mins 光点稳定性 <50μrad 光束发散角 <2mrad (full angle) 光斑圆度 >90% 控制方式 RS232, Gate, Trigger 制冷方式 Air-cooling 偏振方向 Horizontal 偏振比 >100:1 环境温度 15°C ~ 35°C 相对湿度 10% ~ 80%（无结露） 预热时间 <15mins 工作电压 90V ~ 260V