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绝缘耐高温氧化锆陶瓷轴，砾石实业提供可信赖的氧化锆陶瓷轴， 东莞市砾石实业投资有限公司成立于2009-08-05，从创立初起，公司就立志做国内成熟氧化锆陶瓷轴供应商。本着“以质取胜，以客为尊”的宗旨，经过多年不懈努力，砾石实业已占有很高的市场份额，赢了广大工业陶瓷使用人群的支持和信任，在全国享有盛名。

砾石实业本着“诚信经营、互惠互利，共赢双收”的经营理念，可靠为工业陶瓷使用人群提供优异的氧化锆陶瓷轴，无论是在产品的费用或者是产品的品质，将为我们客户提供良好和可靠的售前技术咨询、方案设计和售后服务。我们的氧化锆陶瓷轴主要通过非标定制方式出售，远销海内外，在欧美均有贸易，支持完税后交货，客户群遍及各地。

砾石实业的管理团队，有着丰富的工作经验，可针对国内外贸公司提供国外多标准，多规格的氧化锆陶瓷轴，还可以根据国外客户的要求，进行产品加工。全新的理念和不懈地追求为企业创造很好的成效，给工业陶瓷使用人群提供良好的服务。如今我们的氧化锆陶瓷轴已销售全国，深受广大用户的青睐与好评。

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靶材的主要性能要求

纯度

纯度是靶材的主要性能指标之一，因为靶材的纯度对薄膜的性能影响很大。不过在实际应用中，对靶材的纯度要求也不尽相同。例如，随着微电子行业的迅速发展，硅片尺寸由6”, 8“发展到12”, 而布线宽度由0.5um减小到0.25um,0.18um甚至0.13um，以前99.995%的靶材纯度可以满足0.35umIC的工艺要求，而制备0.18um线条对靶材纯度则要求99.999%甚至99.9999%。

杂质含量

靶材固体中的杂质和气孔中的氧气和水气是沉积薄膜的主要污染源。不同用途的靶材对不同杂质含量的要求也不同。例如，半导体工业用的纯铝及铝合金靶材，对碱金属含量和放射性元素含量都有特殊要求。

密度

为了减少靶材固体中的气孔，提高溅射薄膜的性能，通常要求靶材具有较高的密度。靶材的密度不仅影响溅射速率，还影响着薄膜的电学和光学性能。靶材密度越高，薄膜的性能越好。此外，提高靶材的密度和强度使靶材能地承受溅射过程中的热应力。密度也是靶材的关键性能指标之一。

晶粒尺寸及晶粒尺寸分布

通常靶材为多晶结构，晶粒大小可由微米到毫米量级。对于同一种靶材，晶粒细小的靶的溅射速率比晶粒粗大的靶的溅射速率快；而晶粒尺寸相差较小(分布均匀)的靶溅射沉积的薄膜的厚度分布更均匀。

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