氧化铝陶瓷纺织瓷眼公司-报价合理的氧化铝陶瓷纺织瓷眼供销
所在地:广东省东莞市
联系人:曹先生
价格:面议
品牌:砾石,,,,
发布时间:2024-08-26
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东莞市砾石实业投资有限公司是一家以氧化铝陶瓷纺织瓷眼生产销售为主的有限责任公司,公司拥有可靠的售前售后服务团队,致力在绝缘材料行业打响。公司地处东城街道涡岭工业路8号419室,地理位置优越,交通便利,柜货进出方便顺畅,欢迎广大工业陶瓷使用人群前来参观指导,联系人:曹先生。
成熟的管理理念、高瞻远瞩的战略思想、好的产品和服务意识是砾石实业为之追求的目标,也是砾石实业服务于客户的承诺。公司坚持以好的氧化铝陶瓷纺织瓷眼、完善的服务、务实的的价格满足工业陶瓷使用人群的需求。产品通过批发;厂家;网上销售的方式广泛销售于全国,并通过陆运的方式进行货物的运送,保证产品货运的快捷安全。
氧化铝陶瓷纺织瓷眼公司,
靶材的主要性能要求
纯度
纯度是靶材的主要性能指标之一,因为靶材的纯度对薄膜的性能影响很大。不过在实际应用中,对靶材的纯度要求也不尽相同。例如,随着微电子行业的迅速发展,硅片尺寸由6”, 8“发展到12”, 而布线宽度由0.5um减小到0.25um,0.18um甚至0.13um,以前99.995%的靶材纯度可以满足0.35umIC的工艺要求,而制备0.18um线条对靶材纯度则要求99.999%甚至99.9999%。
杂质含量
靶材固体中的杂质和气孔中的氧气和水气是沉积薄膜的主要污染源。不同用途的靶材对不同杂质含量的要求也不同。例如,半导体工业用的纯铝及铝合金靶材,对碱金属含量和放射性元素含量都有特殊要求。
密度
为了减少靶材固体中的气孔,提高溅射薄膜的性能,通常要求靶材具有较高的密度。靶材的密度不仅影响溅射速率,还影响着薄膜的电学和光学性能。靶材密度越高,薄膜的性能越好。此外,提高靶材的密度和强度使靶材能地承受溅射过程中的热应力。密度也是靶材的关键性能指标之一。
晶粒尺寸及晶粒尺寸分布
通常靶材为多晶结构,晶粒大小可由微米到毫米量级。对于同一种靶材,晶粒细小的靶的溅射速率比晶粒粗大的靶的溅射速率快;而晶粒尺寸相差较小(分布均匀)的靶溅射沉积的薄膜的厚度分布更均匀。
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