具有价值的绝缘耐高温耐磨氧化锆陶瓷环-有口碑的氧化锆陶瓷环-别错过砾石实业
所在地:广东省东莞市
联系人:曹先生
价格:面议
品牌:砾石,,,,
发布时间:2024-08-26
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东莞市砾石实业投资有限公司是一家从事氧化锆陶瓷环进出口贸易的可靠有限责任公司,拥有雄厚的经济实力,产品远销全国等多个地区,凭借丰富的库存、繁多的品种、齐全的规格,成为国内氧化锆陶瓷环销售行业的佼佼者。砾石实业有足够的信心以优异的产品和合理的价格为客户带来更丰厚的利润。
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靶材的主要性能要求
纯度
纯度是靶材的主要性能指标之一,因为靶材的纯度对薄膜的性能影响很大。不过在实际应用中,对靶材的纯度要求也不尽相同。例如,随着微电子行业的迅速发展,硅片尺寸由6”, 8“发展到12”, 而布线宽度由0.5um减小到0.25um,0.18um甚至0.13um,以前99.995%的靶材纯度可以满足0.35umIC的工艺要求,而制备0.18um线条对靶材纯度则要求99.999%甚至99.9999%。
杂质含量
靶材固体中的杂质和气孔中的氧气和水气是沉积薄膜的主要污染源。不同用途的靶材对不同杂质含量的要求也不同。例如,半导体工业用的纯铝及铝合金靶材,对碱金属含量和放射性元素含量都有特殊要求。
密度
为了减少靶材固体中的气孔,提高溅射薄膜的性能,通常要求靶材具有较高的密度。靶材的密度不仅影响溅射速率,还影响着薄膜的电学和光学性能。靶材密度越高,薄膜的性能越好。此外,提高靶材的密度和强度使靶材能地承受溅射过程中的热应力。密度也是靶材的关键性能指标之一。
晶粒尺寸及晶粒尺寸分布
通常靶材为多晶结构,晶粒大小可由微米到毫米量级。对于同一种靶材,晶粒细小的靶的溅射速率比晶粒粗大的靶的溅射速率快;而晶粒尺寸相差较小(分布均匀)的靶溅射沉积的薄膜的厚度分布更均匀。
砾石实业始终以市场为导向,供应的氧化锆陶瓷环以精良的加工、完善的技术支持、良好的售后服务得到了广大工业陶瓷使用人群的赞许,同时我们还配备了有效的物流等工具,交货方式为完税后交货。本公司一贯坚持薄利多销、客户至上的宗旨,不断开拓创新,以质取胜,服务周到,以誉满纯贸易业。
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