新款氧化锆电器陶瓷结构件-东莞优惠的氧化锆电器陶瓷结构件,认准砾石实业
所在地:广东省东莞市
联系人:曹先生
价格:面议
品牌:砾石,,,,
发布时间:2024-08-28
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新款氧化锆电器陶瓷结构件,
靶材的主要性能要求
纯度
纯度是靶材的主要性能指标之一,因为靶材的纯度对薄膜的性能影响很大。不过在实际应用中,对靶材的纯度要求也不尽相同。例如,随着微电子行业的迅速发展,硅片尺寸由6”, 8“发展到12”, 而布线宽度由0.5um减小到0.25um,0.18um甚至0.13um,以前99.995%的靶材纯度可以满足0.35umIC的工艺要求,而制备0.18um线条对靶材纯度则要求99.999%甚至99.9999%。
杂质含量
靶材固体中的杂质和气孔中的氧气和水气是沉积薄膜的主要污染源。不同用途的靶材对不同杂质含量的要求也不同。例如,半导体工业用的纯铝及铝合金靶材,对碱金属含量和放射性元素含量都有特殊要求。
密度
为了减少靶材固体中的气孔,提高溅射薄膜的性能,通常要求靶材具有较高的密度。靶材的密度不仅影响溅射速率,还影响着薄膜的电学和光学性能。靶材密度越高,薄膜的性能越好。此外,提高靶材的密度和强度使靶材能地承受溅射过程中的热应力。密度也是靶材的关键性能指标之一。
晶粒尺寸及晶粒尺寸分布
通常靶材为多晶结构,晶粒大小可由微米到毫米量级。对于同一种靶材,晶粒细小的靶的溅射速率比晶粒粗大的靶的溅射速率快;而晶粒尺寸相差较小(分布均匀)的靶溅射沉积的薄膜的厚度分布更均匀。
始终以顾客的满意为目的,期望为目标。砾石实业经销的氧化锆电器陶瓷结构件品种齐全,价格合理,公司以其实力雄厚,重信用、守合同、保证产品质量,以外贸的形式经营和薄利多销的原则,赢得了广大工业陶瓷使用人群的信任。供应的产品发货时间在3-5天,运费买家承担。公司以贴心的服务,努力为每个客户增添一份美丽和温馨。
东莞市砾石实业投资有限公司从细节上打造诚信,从行动上体现诚信,专注于绝缘材料产品的研发生产,从氧化锆电器陶瓷结构件的设计到生产,每个工序都精细严谨,使产品在林立的绝缘材料市场上,砾石实业始终视产品质量为生命,通过现代化的管理,不断提升公司的综合竞争能力。
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